無塵車間
電子半導體潔凈室又可稱作無塵室,通常用作專業工業生產或科學研究的一部分,包括半導體芯片,集成電路,CRT,LCD,OLED和micro LED顯示器等。潔凈室的設計是為了保持極低水平的微粒,如灰塵,空氣中的生物體,或汽化的微粒。確切地說,潔凈室有一個受控的污染水平,該水平由在指定的顆粒尺寸下每立方米的顆粒數來規定。潔凈室也可指任何給定的容納空間,在該空間中設置了減少微粒污染和控制其他環境參數,如溫度、濕度和壓力。
很多行業會使用無塵室,只要是小顆粒會對生產過程產生不利影響的地方都會有潔凈室的身影。它們的尺寸和復雜度各不相同,廣泛應用于半導體制造,制藥,生物技術,醫療設備和生命科學等行業,以及航空航天,光學,軍事和能源部中常見的關鍵工藝制造。